用于激光精密加工設(shè)備的光柵尺

       RESOLUTE是一款光柵系統(tǒng)。它具有抗污能力，其技術(shù)指標(biāo)也高。它是一款能夠在100 m/s的速度下實(shí)現(xiàn)1 nm分辨率（線性系統(tǒng)），在36,000轉(zhuǎn)/分的速度下實(shí)現(xiàn)32位分辨率（圓柵系統(tǒng)）的光柵。的電子細(xì)分誤差 (SDE) 和抖動使該直線光柵系統(tǒng)從同檔次光柵中脫穎而出。

精度1 m內(nèi)為±1 μm，以后±1 μm/m
柵距30 μm
熱膨脹系數(shù)（20°C時(shí)）0.75 ±0.35 μm/m/°C
柵尺長度1.5 m

       使用此款光柵尺可大幅激光加工設(shè)備的精度及效率，適用于固定光路微動平臺的各類精密激光加工設(shè)備。位置讀取功能可記憶每次停機(jī)時(shí)的準(zhǔn)確位置，開啟無需歸零復(fù)位。