SRM film thickness mapping system

產(chǎn)品介紹：

SRM通過測量反射光譜,結(jié)合tfprobe軟件建模能力可獲得薄膜厚度均勻性及其光學(xué)特性。如果在低預(yù)算的情況下需要對已知膠片或簡單膠片進行快速、常規(guī)、日常測量，那么SRM系列是的選擇。

tfprobe系列光譜反射映射工具，具有許多特點，如長工作距離，工作距離可調(diào)的，對于不同的晶圓尺寸應(yīng)用的各個階段，可選擇的光源和可調(diào)光源強度等。

注意：

1，系統(tǒng)配置和規(guī)格如有變更，恕不另行通知

2，膜性質(zhì)、表面質(zhì)量和層堆疊不是獨立的

3，可定制用于應(yīng)用的系統(tǒng)

4，TFProbe是Angstrom Sun Technologies Inc注冊商標