產(chǎn)品分類
展會(huì)資訊
Product Detail

Excimer

品牌廠家： 美國(guó)GAMLASER
聯(lián)系方式： 18802073350
產(chǎn)品經(jīng)理： 馬經(jīng)理
產(chǎn)品詳情

產(chǎn)品介紹：

　　微電子應(yīng)用激光器（SE-Version）: 半導(dǎo)體加工，掩模檢查，微光刻和計(jì)量激光器，滿足CE標(biāo)志和SEMI S2標(biāo)準(zhǔn)。 所有半導(dǎo)體準(zhǔn)分子激光器采用全金屬/陶瓷技術(shù)，以最小的服務(wù)實(shí)現(xiàn)最長(zhǎng)的激光壽命。比標(biāo)準(zhǔn)的準(zhǔn)分子激光器， SE型準(zhǔn)分子激光器具有潔凈室封裝，長(zhǎng)的腔室壽命和更長(zhǎng)的氣體壽命。

產(chǎn)品參數(shù)：

參數(shù)

F2

ArF

KrF

XeCl

XeF

波長(zhǎng) nm

157

193

248

308

351

最大能量.mJ

3

20

35

15

15

能量控制范圍，mJ

1~3

5~20

10~35

7~15

7~15

最大穩(wěn)定能量   200Hz

2.5

15

30

15

12

平均功率 W 300/600

0.6/1.2

4/7

6/12

3/6

3/6

穩(wěn)定性標(biāo)準(zhǔn)偏差

<1%   最大重復(fù)頻率

重復(fù)率，Hz

300/600/1000

動(dòng)態(tài)態(tài)氣體壽命

2.00E+08

2.00E+08

5.00E+08

1.00E+08

3.00E+08

靜態(tài)氣體壽命 50%能量

15days

60days

90days

>1year

90days

脈沖長(zhǎng)度，ns

12~15

光束尺寸，ns

5×3

8×3

發(fā)散，mrad全角

1×2

冷卻方式

風(fēng)冷

光學(xué)服務(wù)

5.00E+08

3.00E+08

1.00E+09

1.00E+08

3.00E+08

注：如需詳細(xì)規(guī)格參數(shù)資料，或有其他要求，請(qǐng)聯(lián)系我們。

主要應(yīng)用：

替代醫(yī)用激光器

電離源

微加工

精確標(biāo)記

屈光手術(shù)

拉曼光譜
ANTE LASER
24小時(shí)服務(wù)熱線
400-666-8955
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公司：廣州安特激光技術(shù)有限公司

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